Mikroskop elektronowy ZEISS Gemini

Rozdzielczość mikroskopu GeminiSEM 500:

• 0,6 nm @ 15 kV
• 1,1 nm @ 1 kV

Napięcie przyśpieszające:

• 0,02-30kV

Prąd próby:

• 3pA-20nA (zależny od konfiguracji systemu)

Powiększenie:

• 20x-2.000.000x

Stolik zmotoryzowany w 5 osiach:

• przesuw w osi X = 130 mm
• przesuw w osi Y = 130mm
• przesuw w osi Z = 50mm zmotoryzowany
• pochylenie od -3 do 70 stopni
• rotacja ciągła 360 stopni

Dostępne detektory w standardzie to:

• In-Lens,
• SE,
• VPSE